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铜(Cu)的热膨胀系数为αs=16.4×10-6 cm/cm·℃。铜的硬度比较大，铜制密封圈在使用前必须在真空或氢气中进行退火处理，消除内应力。无氧铜是目前超高真空密封联接中常用的密封圈材料。其不足之处是高温烘烤中与大气接触部分会氧化，因此，在要求高的情况下，将无氧铜的密封圈的表面镀一层金，使其具有更好的密封性能。

作为联接用的法兰盘材料也必须能承受高温烘烤以及在高温时仍有良好的力学性能。常用的材料是不锈钢。法兰密封表面的粗糙度和尺寸就精度均应满足超高真空密封的要求。

齿轮油泵可以配用机械密封和填料密封（特殊要求，可选用磁力驱动，零泄漏结构）

机械密封的工作原理机械密封又称端面密封(Mechanicalseal),是旋转轴用动密封.机械密封性可靠,泄露量小,使用寿命长,功耗低.毋须经常维修,且能适应于生产过程自动化和高温,低温,高压,真空,高速以及各种强腐蚀性介质.含固体颗粒介质等苛刻工况的饿密封要求.机械密封是靠一对或几对垂直于轴作相对润动的端面在流体压力和补偿机构的弹力*(或磁力)作用下保持接合并配以辅助密封而达到的阻漏的轴封装置.

密封的功能就是阻止泄漏，有效阻止泄漏是对密封装置的首要要求。密封性反映对泄漏的控制水平。对运动密封而言，摩擦力是一个与运动质量有关的重要因素。而密封和摩擦总是互相制约。一般地说提高密封性会带来摩擦力的增加，摩擦力增加直接导致运动能力与质量的降低；并且摩擦力会加速密封的磨损。摩擦力还可能成为低压系统负载的主要内容。密封的耐性的能力反映了可以密封的工作介质的高压力，是液压气动密封的重要指标。

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